無(wú)油真空泵具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作容易、維護(hù)方便、不會(huì)污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。無(wú)油真空泵耐用性好，是抽真空，壓縮，兩用真空泵，是一種應(yīng)用范圍非常廣泛獲得真空的基本設(shè)備。本產(chǎn)品與油泵相比真空度低，抽氣量小，但體積小巧，易于安裝，維護(hù)簡(jiǎn)單，移動(dòng)方便，不產(chǎn)生油煙，不污染環(huán)境，尤其在要求較高的實(shí)驗(yàn)室使用較好。也是實(shí)驗(yàn)室最常備的設(shè)備之一。

 

　　因此在選購(gòu)無(wú)油真空泵時(shí)要先確定要求工作的真空度，如果需求的真度高，而選的真空泵就要高于需求的真空度，否則達(dá)不到抽真空的要求，就會(huì)達(dá)不到工作要求。其次是無(wú)油真空泵抽氣速率，選型時(shí)就要稍大于所需求的抽氣速率，這樣就能更好的滿(mǎn)足需要。最后看抽取的氣體有無(wú)腐蝕性，有腐蝕的氣體會(huì)腐蝕泵，必須要用特殊的材質(zhì)才能滿(mǎn)足需求。

 

　　無(wú)油真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：

　　1、低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

　　2、半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

　　3、除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿(mǎn)足要求；

　　4、在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；

　　5、用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。

 

　　結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：

　　無(wú)油直聯(lián)旋片真空泵，是一種旋片式單級(jí)真空泵。用來(lái)抽除密封容器中的氣體，以獲取真空的基本設(shè)備。

　　該泵可用于空調(diào)，制冷設(shè)備的修理，醫(yī)療儀器的抽吸裝置，印刷機(jī)械，真空包裝，真空吸塑，理化實(shí)驗(yàn)及需要真空環(huán)境的小型裝置等各種真空作業(yè)用。還可以作為小型的油增壓泵、油擴(kuò)散泵，分子泵等的前級(jí)泵使用。

　　該泵不適用于抽除對(duì)黑色金屬有腐蝕的，對(duì)泵油起化學(xué)反應(yīng)的，含有顆粒塵埃的氣體，以及含氧過(guò)高，有爆炸性的有毒氣體。更不能作為傳輸泵使用。